潔凈室的核心重點

潔凈室(Clean Room)，亦稱為無塵室或凈化室。它是污染控制的基礎，沒有潔凈室， 污染敏感零件不可能批量生產。在 FED-STD-2 里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。

潔凈室要獲得良好的潔凈效果，不僅要著重采取合理的空調凈化措施，而且也要求工藝、建筑及其他專業(yè)采取相應的措施:不但要有合理的設計，而且還要精心的符合規(guī)范的施工安裝，以及正確的使用潔凈室和科學的維護管理。為使?jié)崈羰耀@得良好的效果，國內外已有不少文獻從不同的角度作過闡述。實際上，不同專業(yè)之間很難做到理想地配合，而且設計者很難把握施工安裝質量以及使用和管理情況，尤其后者。本文僅就潔凈室凈化措施中達到潔凈度要求的四個必要條件簡要論述。

凈化系統(tǒng)末級過濾器一般采用高效過濾器或亞高效過濾器。按我國標準規(guī)定高效過濾器效率分四檔：A 類為≥99.9%，B 類為≥99.9%，C 類為≥99.999%，D 類為(對≥0.1μ m 粒子)≥99.999%(亦稱超高效過濾器)：亞高效過濾器為(對≥0.5μm 粒子)95~99.9%。效率越高，過濾器的價格也越貴。所以選擇過濾器時應本著既要滿足送風潔凈度要求，又要考慮經濟合理。從潔凈度要求考慮，以低級別潔凈室選用低性能過濾器、高級別潔凈室選用高性能過濾器為原則。一般說來：100萬級可選用高中效過濾器；低于 1 萬級可選用亞高效或A類高效過濾器：1 萬~100 級選用B類過濾器；100~1 級選用C類過濾器。這里每個潔凈度級別似乎都有兩類過濾器可供選擇，選擇高性能的還是低性能的，要視具體情況而定。

潔凈室的氣流組織與一般空調房間有所不同，它要求將最干凈的空氣首先送到操作部位，它的作用在于限制和減少對加工物的污染。為此，在設計氣流組織時應考慮這些原則：盡量減少渦流，避免將工作區(qū)以外的污染帶入工作區(qū);盡量防止灰塵的二次飛揚以減少灰塵對工件的污染機會;工作區(qū)的氣流要盡量均勻，且其風速要滿足工藝和衛(wèi)生要求，當氣流向回風口流動時要使空氣中的灰塵能有效的帶走。根據不同的潔凈度要求，選擇不同的送、回風方式。

足夠的通風換氣量是為了稀釋和排除室內污染空氣，根據不同的潔凈度要求，當潔凈室凈高較高時，適當增加換氣次數。其中；100萬級潔凈室的通風量是按高中效凈化系統(tǒng)考慮，其余均按高效凈化系統(tǒng)考慮；當 10萬級潔凈室高效過濾器集中布置在機房或系統(tǒng)末端采用亞高效過濾器時，可適當提高換氣次數 10-20%。

四、靜壓差

潔凈室維持一定的正壓是保證潔凈室不受或少受污染、以維持設計潔凈度等級必不可少地條件之一。即便是負壓潔凈室，它也必須有不低于它潔凈度級別地相鄰房間或套間維持一定地正壓，負壓潔凈室的潔凈度才能得以維持。

對于一個潔凈室來說，以上四個必要條件必須同時得到滿足，才能保證潔凈度達到要求并具備應有的抗污染干擾能力。

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