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無(wú)塵室的定義

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摘要:無(wú)塵室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵室或清凈室。



無(wú)塵室(Clean Room),亦稱為無(wú)塵室或清凈室。

無(wú)塵室是指可以將環(huán)境因素控制在規(guī)定數(shù)值內(nèi)的空間,稱之為無(wú)塵室。室內(nèi)環(huán)境因素包括 空氣中:微生物、微塵粒、氣體分子、溫度、濕度、氣流流型、風(fēng)速、壓差、照度、噪音、微振動(dòng)、靜電、風(fēng)量、電磁波等無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的 微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特 別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。它是污染控制的基礎(chǔ)??刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。


無(wú)塵室也稱潔凈室,是指一個(gè)具有低污染水平的環(huán)境,這里所指的污染來(lái)源有灰塵,空氣傳播的微生物,懸浮顆粒,和化學(xué)揮發(fā)性氣體。更準(zhǔn)確地講,一個(gè)凈室具有一個(gè)受控的污染級(jí)別,污染級(jí)別可用每立方米的顆粒數(shù),或者用大顆粒大小來(lái)厘定的。低級(jí)別的凈室通常是沒(méi)有經(jīng)過(guò)消毒的(如沒(méi)有受控的微生物),更多的是關(guān)心空氣傳播的灰塵。


凈室被廣泛地應(yīng)用在對(duì)環(huán)境污染特別敏感的行業(yè),例如半導(dǎo)體生產(chǎn)、生化技術(shù)、生物技術(shù)、精密機(jī)械、制藥、醫(yī)院等行業(yè)等,其中以半導(dǎo)體業(yè)其對(duì)室內(nèi)之溫濕度、潔凈度要求尤其嚴(yán)格、故其必需控制在某一個(gè)需求范圍內(nèi),才不會(huì)對(duì)制程產(chǎn)生影響。作為生產(chǎn)設(shè)施,凈室可以占據(jù)廠房很多位置。


無(wú)塵室系統(tǒng)制造符合規(guī)格之潔凈空氣,連續(xù)且穩(wěn)定供給足夠之潔凈空氣于使用端,潔凈室內(nèi)的制造區(qū)(FAB)。一般而言,制造潔凈空氣之氣源為外氣(OUTSIDE AIR),經(jīng)過(guò)潔凈室系統(tǒng)各種處理單元設(shè)備之處理后進(jìn)而得到符合規(guī)格之潔凈空氣。以下簡(jiǎn)單介紹其處理流程:外氣經(jīng)由外氣空調(diào)箱(Make-up Air Unit或MAU)初步過(guò)濾微塵(particle)并控制其溫濕度后,經(jīng)由回風(fēng)管道間(Mech. Chase),將潔凈室之循環(huán)風(fēng)量與外氣空調(diào)箱之補(bǔ)充風(fēng)量混合,經(jīng)由冷卻盤(pán)管(Dry Cooling Coil)將回風(fēng)管道間之回風(fēng)降溫至凈室要求之規(guī)格,通過(guò)循環(huán)風(fēng)扇(Fan Filter Unit或FFU)帶動(dòng)潔凈室的氣流循環(huán)帶走微塵及熱量,經(jīng)過(guò)超高性能過(guò)濾網(wǎng)(Ultra-low penetration air或ULPA Filter)過(guò)濾后,供應(yīng)至Fab區(qū)。


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公司以人為本、極其重視人才的引進(jìn)與培養(yǎng),定期對(duì)公司員工進(jìn)行培訓(xùn)與不斷創(chuàng)新,以滿足各行業(yè)對(duì)潔凈技術(shù)的要求,不斷提高公司設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、施工能力,立足于國(guó)內(nèi)外凈化市場(chǎng)。

坤靈凈化中國(guó)潔凈系統(tǒng)工程及凈化設(shè)備制造高品質(zhì)、專(zhuān)業(yè)化的代表。凈化設(shè)備研發(fā)制造10多年不斷研發(fā)新技術(shù)優(yōu)產(chǎn)品,擁有幾十項(xiàng)國(guó)家專(zhuān)利,于2019年獲得國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)稱號(hào)、廣州市科技創(chuàng)新小巨人、國(guó)家建筑裝飾裝修工程專(zhuān)業(yè)承包二級(jí)以及凈化工程項(xiàng)目相關(guān)證書(shū),確保您的項(xiàng)目順利完成。

 

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